Saydam-iletken metal oksit filmlerin elde edilmesi ve fiziksel özelliklerinin incelenmesi

Abstract

Bu çalışmada, püskürtme yoluyla pirohidroliz yöntemi kullanılarak saf ve katkılı kalay oksit < SnOa ) filmlerin elde edilmesi ve elde edilen bu filmlerin özelliklerinin incelenmesi amaçlanmıştır. Cam taşıyıcılar üzerine kaplanan saf ve katkılı SnOa filmlerin optik geçirgenlik eğrileri elde edilmiş ve bu eğrilerin maksimum ve minimum noktalarından geçecek şekilde çizilen zarf eğrilerinden yararlanılarak, filmin kalınlığı, kırılma indisi ve sön dürme indisi hesaplanmıştır. Çalışmada elde edilen saf SnOa filmlerin özdirençlerinin kalınlığa bağlı değişimi ve yaklaşık aynı d kalınlığında katkılı SnOa filmlerde özdirencin katkı miktarına bağlı değişimi incelenmiştir. Ayrıca, saf ve katkılı SnOa filmlerin k söndürme indisinin dalga boyuna göre değişimi de incelenmiştir.