Bu çalışmada, n ve p-tipi tek kristalli silisyum katmanlarının elektrokimyasal anodizasyonu ile gözenekli silisyum elde edilmiştir. Elde edilen gözenekli silisyum örneklerin kalınlıkları yaklaşık 10-30um arasındadır. ...
Tek kristal n-tipi silisyum üzerinde, elektrokimyasal anodizasyon yöntemi ile gözenekli silisyum (GS) tabakaları elde edildi. Büyüme şartlan (anodizasyon zamanı, akım yoğunluğu) değiştirilerek, özdirenci 4,5xl06 Qcm, ...