Özet:
Bu tez yeni gelişmekte olan bir teknolojinin yani RF MEMS teknolojisinin bazı uygulamalarına değinmiştir. Yapılan çalışma mekanik, elektronik ve malzeme birimlerinin bir sentezini sunmaktadır.Tezin birinci bölümünde RF MEMS'lerin kullanım nedenleri belirtilip, RF MEMS anahtarlara ve mikroelektronik RF anahtarlama teknolojilerine kısaca giriş yapılmıştır. İkinci bölümde RF MEMS anahtarlar ayrıntılı olarak incelenmiş ve ayrıntılı işleme teknikleri ve üretim aşamaları sunulmuştur. Üçüncü bölümde HFSS proğramında oluşturduğumuz RF MEMS seri ve paralel anahtarların mikrodalga karakteristikleri ve S parametreleri elde edilmiştir. Bunu takip eden bölümde ise yapay sinir ağları ile ilgili genel bilgilere yer verilmiştir. Son bölümde HFSS proğramı ile elde ettiğimiz verileri çeşitli ağ modellerine ve eğitim algoritmalarına gore yapay sinir ağlarında uyguladık ve çıkan sonuçları, çıkması beklenen sonuçlara gore karşılaştırp grafikler sunulmuştur.Anahtar Kelimeler: RF MEMS, anahtar, yapay sinir ağları.
