Özet:
Günümüzde, ince film kaplamanın birçok farklı sektör için ihtiyaç duyulan bir konu olması farklı kaplama tekniklerine yönelik araştırma ve geliştirme çalışmaları için büyük önem taşımaktadır. Literatürde birçok kaplama yöntemi yer almaktadır. Bu çalışmada, farklı yöntemlerde yer alan fonksiyonel teknikleri bir araya getiren bir cihaz tasarımı amaçlanmıştır.
Farklı kaplama malzemeleri için optimum sıcaklık değerlerinin de farklı olduğu bilinmektedir. Bu sebep ile farklı malzemelerle de verimli sonuç elde edebilmek amacıyla ayarlanabilir sıcaklık özelliği bu tezde ilk defa tasarıma eklenmiştir. Ayrıca, kaplanacak yüzeylerin yüksek devirlerde döndürülmesinin, kaplamanın homojenliğini arttıran bir unsur olduğu bilinmektedir. Tasarıma, bu tezde ilk defa ayarlanabilir dönme hızı özelliği eklenerek, farklı malzemeler için optimize edilebilmesi amaçlanmıştır. Kaplama malzemesinin kaplanacak yüzeye, nebule edilerek küçük parçacıklar halinde gönderilebilmesi için tasarıma akış hızının isteğe göre ayarlanabileceği bir nebulizer eklenmiştir.
Bu tasarımla örnek bir uygulama yapılmış olup, nebule edilmiş kaplama malzemesinin özelliklerine ve amacına uygun olarak akış hızı, sıcaklık ve dönme hızı paremetrelerinin aynı anda optimize edilebileceği gösterilmiştir.
